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碳化硅的超細(xì)粉碎設(shè)備主要有攪拌磨機(jī)、氣流磨機(jī)、振動磨機(jī)及球磨機(jī)等。傳統(tǒng)的球磨機(jī)應(yīng)用較早，設(shè)備穩(wěn)定性好，但效率低，能耗大，增加了分級難度。振動磨機(jī)粉碎效果還可以，但其能耗較高，工作時噪音大，細(xì)磨碳化硅這樣的硬質(zhì)材料時設(shè)備磨損嚴(yán)重，氣流磨機(jī)生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)能力小。